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濺射離子泵

SIP001
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SIP500T
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SIP1000
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產品參數

PRODUCT PARAMETERS

型號 SIP001 SIP005 SIP010 SIP025 SIP050 SIP075 SIP100 SIP200 SIP400 SIP500 SIP500T SIP600 SIP1000 SIP1500 SIP2000
抽氣速率(L/S)
(再生抽速最大值)
N2 1 (at 1×10-5Pa) N2 5 (at 1×10-5Pa) N2 10 (at 1×10-5Pa) N2 25 (at 1×10-5Pa) N2 50 (at 1×10-5Pa) N2 75 (at 1×10-5Pa) N2 100 (at 1×10-5Pa) N2 200 (at 1×10-5Pa) N2 400 (at 1×10-5Pa) N2 500 (at 1×10-5Pa) N2(LN2) 850 (at 1×10-5Pa) N2 600 (at 1×10-5Pa) N2 1000 (at 1×10-5Pa) N2 1500 (at 1×10-5Pa) N2 2000 (at 1×10-5Pa)
極限壓強(Pa)
(環境溫度≤25℃)
≤1.0×10-6 ≤5.0×10-7 ≤1.0×10-8 ≤1.0×10-8 ≤8.0×10-9 ≤3.0×10-9 ≤3.0×10-9 ≤2.0×10-9 ≤2.0×10-9 ≤3.0×10-9 ≤6.0×10-10(LN2) ≤2.0×10-9 ≤2.0×10-9 ≤2.0×10-9 ≤2.0×10-9
啟動壓強(Pa) ≤1×10-3 ≤1×10-3 ≤1×10-3 ≤1×10-3 ≤1×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3
接口法蘭 CF16 CF40 CF40 CF40 ?CF100 CF63 CF100 CF150 CF150 CF150 CF150 CF200 CF200 CF200 CF250
陽極電壓(kV) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc) ≤+7(dc)
烘烤溫度(℃) ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300
內置烘烤功率(kW) —— —— —— —— 0.2 0.28 0.28 0.62 0.68 0.8 0.8 0.8 1.2 2 3
外形尺寸(mm)
(L×W×H)
114×54×56 143×79×81 221.5×94×126 173×134×206.5 246×156×237 296×163×308 296×163×308 442×155.6×444.5 442×246×444.5 447×328×444.5(500A) 447×578×444.5 492×328×451.5 512×582×451.5 512×382×950 550×620×950
重量(Kg) 1.2 2.5 8.5 12.5 22 35 35 60 95 130 138 138 224 300 450

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