產品概述：沈陽科儀公司生產的多功能樣品臺,采用先進的設計工藝、模塊化設計思路，通過不同的模塊組合，實現自轉、升降差動、高溫抗氧化等功能。SKY樣品臺適用于各種先進的薄膜生長和沉積技術，包括MBE、PLD、磁控濺射和EB等，也可用于襯底退火、高溫除氣和材料改性。其主要模塊包括：自轉耦合模塊、升降模塊、加熱器模塊、樣品托模塊、電刷模塊、安裝法蘭、接線模塊、擋板模塊等。各模塊之間多數采用CF50/CF40/CF16等標準法蘭接口對接，各部分功能介紹如下：自轉耦合模塊主要功能是實現產品自轉，自帶零點限位信號，在此基礎上分成兩種類型，一種附帶差動結構，一種不帶差動結構；升降模塊滿足真空室內部部分的整體移動，有50mm/100mm等幾種標準行程可選擇，其他行程可定制；加熱器模塊有1英寸~8英寸等多種尺寸供選擇，加熱器材質可根據加熱溫度及使用工況等進行選擇；樣品托模塊常用形式有3爪卡口式、底部叉托式和旋轉撥套式等；電刷模塊滿足樣品在自轉過程中的RF或者DC電源的引入需求，可用于樣品清洗或者輔助成膜；安裝法蘭通常根據樣品大小配套成標準CF法蘭，也可客戶化定制；接線模塊主要包括加熱接線端、熱偶接線端、DC/RF接線端三個部分，具體結構根據樣品臺是否需要引入DC/RF電源確定；擋板模塊主要由樣品擋板及其外部驅動構成，采用與升降模塊同步移動的方式，操作更便捷。?產品優勢??1、襯底最高加熱溫度1100℃；??2、可接入RF/DC；??3、自轉，轉速0~20轉/分，連續可調，提供定位零點；??4、模塊化設計允許多種組合配置選擇；??5、樣品尺寸容納8英寸以下。?結構特點??1、直流或射頻偏壓引入模塊，自轉時可接電；??2、氣動小升降模塊，兼顧交接性和保溫性；??3、大升降調節模塊，調節樣品伸出距離；??4、擋板模塊，手動、氣動選配；?性能參數：