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多功能樣品臺

產品概述:沈陽科儀公司生產的多功能樣品臺,采用先進的設計工藝、模塊化設計思路,通過不同的模塊組合,實現自轉、升降差動、高溫抗氧化等功能。SKY樣品臺適用于各種先進的薄膜生長和沉積技術,包括MBE、PLD、磁控濺射和EB等,也可用于襯底退火、高溫除氣和材料改性。其主要模塊包括:自轉耦合模塊、升降模塊、加熱器模塊、樣品托模塊、電刷模塊、安裝法蘭、接線模塊、擋板模塊等。各模塊之間多數采用CF50/CF40/CF16等標準法蘭接口對接,各部分功能介紹如下:自轉耦合模塊主要功能是實現產品自轉,自帶零點限位信號,在此基礎上分成兩種類型,一種附帶差動結構,一種不帶差動結構;升降模塊滿足真空室內部部分的整體移動,有50mm/100mm等幾種標準行程可選擇,其他行程可定制;加熱器模塊有1英寸~8英寸等多種尺寸供選擇,加熱器材質可根據加熱溫度及使用工況等進行選擇;樣品托模塊常用形式有3爪卡口式、底部叉托式和旋轉撥套式等;電刷模塊滿足樣品在自轉過程中的RF或者DC電源的引入需求,可用于樣品清洗或者輔助成膜;安裝法蘭通常根據樣品大小配套成標準CF法蘭,也可客戶化定制;接線模塊主要包括加熱接線端、熱偶接線端、DC/RF接線端三個部分,具體結構根據樣品臺是否需要引入DC/RF電源確定;擋板模塊主要由樣品擋板及其外部驅動構成,采用與升降模塊同步移動的方式,操作更便捷。?產品優勢??1、襯底最高加熱溫度1100℃;??2、可接入RF/DC;??3、自轉,轉速0~20轉/分,連續可調,提供定位零點;??4、模塊化設計允許多種組合配置選擇;??5、樣品尺寸容納8英寸以下。?結構特點??1、直流或射頻偏壓引入模塊,自轉時可接電;??2、氣動小升降模塊,兼顧交接性和保溫性;??3、大升降調節模塊,調節樣品伸出距離;??4、擋板模塊,手動、氣動選配;?性能參數:
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參數
產品概述:
沈陽科儀公司生產的多功能樣品臺,采用先進的設計工藝、模塊化設計思路,通過不同的模塊組合,實現自轉、升降差動、高溫抗氧化等功能。SKY樣品臺適用于各種先進的薄膜生長和沉積技術,包括MBE、PLD、磁控濺射和EB等,也可用于襯底退火、高溫除氣和材料改性。
其主要模塊包括:自轉耦合模塊、升降模塊、加熱器模塊、樣品托模塊、電刷模塊、安裝法蘭、接線模塊、擋板模塊等。各模塊之間多數采用CF50/CF40/CF16等標準法蘭接口對接,各部分功能介紹如下:
自轉耦合模塊主要功能是實現產品自轉,自帶零點限位信號;
升降模塊滿足真空室內部部分的整體移動,有50mm/100mm等幾種標準行程可選擇,其他行程可定制;
加熱器模塊有6英寸等多種尺寸供選擇,加熱器材質可根據加熱溫度及使用工況等進行選擇;
樣品托模塊常用形式有3爪卡口式、底部叉托式和旋轉撥套式等;
電刷模塊滿足樣品在自轉過程中的RF或者DC電源的引入需求,可用于樣品清洗或者輔助成膜;
安裝法蘭通常根據樣品大小配套成標準CF法蘭,也可客戶化定制;
接線模塊主要包括加熱接線端、熱偶接線端、DC/RF接線端三個部分,具體結構根據樣品臺是否需要引入DC/RF電源確定;
擋板模塊主要由樣品擋板及其外部驅動構成,采用與升降模塊同步移動的方式,操作更便捷。
 
產品優勢
    1、襯底最高加熱溫度1100℃;
    2、可接入RF/DC;
    3、自轉,轉速0~20轉/分,連續可調,提供定位零點;
    4、模塊化設計允許多種組合配置選擇;
    5、樣品尺寸容納6英寸以下。
 
結構特點
    1、直流或射頻偏壓引入模塊,自轉時可接電;
    2、大升降調節模塊,調節樣品伸出距離;
    3、擋板模塊,手動、氣動選配;
 
性能參數:

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